Комментарии участников:
МИМ-340 — Промышленный микроскоп для исследования субмикронных структурссылк
Предназначен для исследования оптических свойств микро и нано рельефа крупногабаритных объектов, например поверхностей оптических элементов, вейферов, с рекордно высоким для оптической микроскопии разрешением 0,1 нм по вертикали и 10-100 нм в плоскости объекта.
Обеспечивает нанометровую (не более 100 нм) точность позиционирования объекта и привязку измеряемой области к единой системе координат.
Лазерный измерительный микроскоп, сочетающий визуализацию объектов с нанометровым разрешением и позиционирование отдельных субмикронных полей в единой координатной системе с размером поля 300х300мм, создает новые потенциальные возможности в решении научно-производственных задач. Применение МИМ будет способствовать внедрению развитию нанотехнологий в промышленность. Показана перспективность применения МИМ в оптической промышленности для измерения шероховатости, исследования дифракционных рельефов и т.д.
Лазерный интерференционный микроскоп МИМ обладает нанометровым разрешением, высоким быстродействием и не разрушает объект в процессе исследования, что дает возможность проводить неразрушающие исследования наноразмерных структурных объектов. Использование совместно с микроскопом МИМ координатных столов, обладающих нанометровой точностью позиционирования и большой длиной хода, позволяет изучать с нанометровой точностью не только отдельные области макроскопического объекта, но и весь объект целиком.