«На стенде Физического института им. П.Н. Лебедева РАН (ФИАН) главе Академии наук показали компактную установку совмещения экспонирования для работы с одиночными структурами на пластинах размером до 2 см», — отметили в пресс-службе.

Ученые ФИАН продемонстрировали два фотолитографа — прибора для создания, в частности, экспериментальных микросхем из новых материалов с разрешением в одну тысячную долю миллиметра.

Как рассказал президенту РАН ведущий научный сотрудник, заведующий лабораторией ФИАН Александр Кунцевич, потребность в новых приборах возникла, когда коллектив занялся исследованием двумерных материалов, графена, дихалькогенидов переходных металлов, представляющих собой микроскопические кристаллы атомной толщины, помещенные на кремниевую подложку.

«Для исследования этих двумерных материалов нам требовалось изготавливать образцы транзисторных структур — нужно было к маленькому кусочку графена сделать контакты. Это еще не нано-, но уже микроструктура, чего достаточно для многих задач. И мы, как это часто происходит в науке, делали себе сами оборудование», — рассказал Кунцевич ТАСС.

С помощью этих приборов можно в лаборатории нарисовать любую микроструктуру, не прибегая к услугам сторонних организаций, что значительно ускоряет получение результатов. Ученый также отметил, что работа с оборудованием оказалась отличным практикумом для студентов, изучающих микроэлектронные процессы.

Один из фотолитографов — контактно-масочный, использующий мини-фотошаблоны, недорогие и изготовляемые также в лаборатории. Другой прибор — рабочий макет безмасочного литографа, который позволяет самому исследователю разработать дизайн устройства, а через час уже получить топологический рисунок на пластине.

Свои разработки президенту РАН представила и компания «СМАРТС-Кванттелеком». Ее генеральный директор Алексей Алексеев продемонстрировал системы квантового распределения ключей, которые применяются в квантовых криптографических системах для шифрования каналов передачи информации. «Так достигается защищенность каналов по передаче ключей, тем самым стойкость информации к взломам многократно увеличивается», — рассказал Алексеев.

Форум «Микроэлектроника-2024» — межотраслевая коммуникационная площадка, где собираются представители бизнеса, политики, науки и производства. Юбилейный 10-й форум проходит с 23 по 28 сентября, тема — состояние и перспективы развития российской микроэлектронной отрасли. ТАСС — стратегический информационный партнер форума.